该厂为89英寸晶圆生產线配套方案的超蒸馏水系统的，每星期呈现含硅生产废水150吨。生产废水内虽无天价属，但硅含磷量高易积垢，且热敏电阻率需高于18MΩ·cm可以回收。原来净化处理工学院艺未能达到新颁布实施的《电子无线企业水环境破坏物直接废气排放规定》（GB39731-2020）尤为直接废气排放限制值。 废渣的成分的特点 常见环境破坏物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（比表面积0.1-1μm） 特别的想要 ：TOC<10μg/L，硼成分<5μg/L 水的硬度基本特征 ：低导电率（<50μS/cm）但硅单质基本特征繁琐 正确处理方法方法 的创新利用"梯级膜分离出来+电去化合物"乐队组合加工过程： 微滤预处里 ：1μm陶瓷图片膜阻止大颗粒状硅，通量保证80LMH 铝离子调换硅胶粘合剂 ：D201大孔光敏树脂条件性气体吸附硅酸分子式 二次元RO模式 ：首个段回报率60%，第五段采用了高脱硼膜部件 EDI电去阳离子 ：直流电容重2A/m²，继续除掉的残留物正离子 太阳光的紫外线杀菌的 ：254nm紫外光线标准容量40mJ/cm² 方法重点 发展专业化阻硅剂（有机会胺类挽回物），减轻膜环境破坏周期长3倍 EDI控制模块科学创新流道方案，硅消除率提高至99.8% 百度在线硅分析一下仪（衡量条件0.1-500μg/L）推动准确掌控 自动运行初步成效 经其两方验测： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降为0.3μg/L 程序回报率从原40%增加至68% 膜更換定期不断增加至5年，年运动资金下降35%